摘要
非晶碳薄膜由sp2和sp3杂化的碳原子组成。sp2和sp3碳原子的比例是决定非晶碳膜的结构和性能的重要参数。如何定量或定性地分析碳薄膜中sp2和sp3碳的含量一直是十分重要的问题。目前用来测定sp2和sp3碳及其比例的实验方法有13C核磁共振谱(NMR)、电子能量损失谱(EELS)、X射线光电子能谱(XPS)、椭圆偏振谱、拉曼光谱(Raman)、红外光谱(IR)等。综述了这些测定方法及其特点。
Amorphous carbon film is composed of sp^2 bonding and spa bonding carbon atoms. The ratio of sp^2/sp^3 bonding carbon is an important parameter to determine the structure and properties of amorphous film. So it is important to analyze the sp^2 and sp^3 content in amorphous carbon film qualitatively or quantitatively. Various characterization methods have been used to determine those parameters such as ^13C nuclear magnetic resonance spectrometry （NMR）, electron energy loss spectroscopy （EELS）, X-ray photoelectron spectroscopy（XPS）, elliptical polarization spectroscopy（EP）, Raman spectroscopy （Raman）,infrared spectroscopy （IR）. This review will describe these methods.
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期98-101,共4页
Materials Reports
基金
教育部科学技术研究重点项目(205091)
关键词
非晶碳膜
sp^2碳
sp^3碳
检测方法
amorphous carbon film, sp^2 bonding carbon, spa bonding carbon,characterization methods
