摘要
用脉冲激光沉积法(PLD)在n型Si(Ⅲ)面上生长了ZnO薄膜.采用X射线衍射分析、原子力显微镜分析、傅里叶红外吸收光谱和拉曼光谱技术,测试了ZnO薄膜的结构、表面形貌和振动特性.
ZnO thin films were deposited on n - Si （Ⅲ ） substrate by pulsed laser deposition （PLD）. The structural and vibrational properties of ZnO thin films were performed with X - ray diffraction, Atomic force microscopy, FTIR and Raman spectroscopy.
出处
《山东师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2006年第2期51-52,共2页
Journal of Shandong Normal University(Natural Science)
基金
国家自然科学基金资助项目(10474059
90301002和90201025)
山东省自然科学基金资助项目(Y2003A01)
