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直径6英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术通过专家鉴定

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摘要由中国科学院半导体研究所和北京中科镓英半导体有限公司共同承担的“863项目”——直径6英寸半绝缘砷化镓单晶生长技术研究成果，不久前通过了专家鉴定。鉴定委员会认为，该项目研制出的晶体技术指标均达到同期国内领先、国际先进水平，并且晶片加工技术指标也达到了国际先进水平。

出处《光学仪器》 2006年第2期21-21,共1页 Optical Instruments

关键词半绝缘砷化镓单晶生长技术专家鉴定中国科学院半导体研究所直径国际先进水平技术指标研究成果有限公司晶片加工

分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学] O613.71 [理学—无机化学]

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光学仪器

2006年第2期

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