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高真空电阻加热蒸发铝膜的的质量分析被引量：2

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摘要本文叙述了高真空电阻加热蒸发铝膜的典型条件。其次对铝膜质量进行了分析和讨论。

作者程开富

机构地区重庆光电技术研究所

出处《电子工业专用设备》 1996年第3期43-46,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词高真空电阻加热蒸发铝膜硅器件

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学] TN304.05

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电子工业专用设备

1996年第3期

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