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中国集成电路产业发展与技术跨越进步态

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摘要集成电路是国家的战略产业微电子技术是信息通信产业的基础与核心。微电子技术进步将继续遵循“摩尔定律”。目前先进国家工艺水平已达0．09μm线宽，而我国最高水平仅0．18μm，差距为2～3代。据美国半导体协会预测，2014年半导体线宽将达0．035μm，

出处《电子工业专用设备》 2006年第2期23-25,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词产业发展集成电路技术跨越微电子技术步态中国信息通信产业 0.18μm 摩尔定律技术进步

分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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电子工业专用设备

2006年第2期

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