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离子注入硅的连续CO2激光退火

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摘要 激光退火用在半导体材料上，现在国内外都还在试验阶段，所用的激光器主要是红宝石激光器、钕玻璃激光器和氩离子激光器。
机构地区 南开大学物理系光学教研室、半导体教研室
出处 《四川激光》 1981年第A02期59-60,共2页 Laser Journal
关键词 激光退火 离子注入 CO2 红宝石激光器 氩离子激光器 钕玻璃激光器 半导体材料 硅 国内外
分类号 TN304.26 [电子电信—物理电子学] TN305.3
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四川激光
1981年 第A02期

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