转换反应室的观测窗结构

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摘要本实用新型涉及一种转换反应室的观测窗结构．该转换反应室上方设有一观测口，该观测窗是结合于该观测口之上，并且该观测窗与该观测口周围之间设有一密封的0形环，又在该0形环与该观测窗之间设有一环形垫片。从而，可避免观测窗发生裂缝，进而降低生产成本并提高生产率。

机构地区台湾省友迭光电股份有限公司

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 2006年第1期30-30,共1页 Surface Technology

关键词观测窗反应室结构实用新型高生产率生产成本

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表面技术

2006年第1期

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