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炉管机台参数的采集与统计过程控制

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摘要在晶圆制造的氧化扩散阶段,主要使用立式炉管来制备氧化物,本文简要说明了机台参数的采集过程,着重结合SPC技术分析了机台过程参数的控制流程和控制图的判读方法,并对采用该技术后的效益和应该注意的问题作了说明。

作者赵勇彪

机构地区江阴职业技术学院

出处《铜陵学院学报》 2005年第4期78-80,共3页 Journal of Tongling University

关键词 SPC技术参数采集控制图

分类号 TP278 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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铜陵学院学报

2005年第4期

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