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硅压力传感器版图的计算机辅助设计

CAD of Layout of Silicon Pressure Sensor
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摘要 介绍利用AutoLisp语言编程实现硅压力传感器版图自动生成的CAD系统,并给出C型压阻式压力传感器版图的设计实例. A CAD system for design automation of pressure transducer is introduced.The layout is generated through AutoLisp programming. An design example is given fora C-type piezoresistive pressure transducer.
出处 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期7-10,共4页 Chinese Journal of Sensors and Actuators
关键词 压力传感器 CAD 硅压力传感器 传感器版图 silicon pressure sensor CAD
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