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污线法测量厚度的分析与比较

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摘要对用电子显微镜测量薄膜厚度的三种方法：双束衍射法、污斑法、污线法进行了实验及比较分析。结果表明：污线法操作简单、使用方便、定位准确、测量误差小，是一种较为理想的测厚方法。

作者袁庆龙徐立华

机构地区山西矿业学院矿山机械系

出处《真空科学与技术》 CSCD 1995年第4期269-272,共4页 Vacuum Science and Technology

关键词薄膜厚度双束衍射污斑法污线法电子显微镜

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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真空科学与技术

1995年第4期

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