摘要
直线度的测量，是形位误差测量中的重要项目．工件表面或机器运动导轨的直线度，往往又是机械设备或精密仪器的精度保证。直线度的测量有许多传统的方法，如自准直仪法、电子水平仪法、打表法、激光干涉法等，在这些方法中，要么测量安装困难，要么测量精度不高，限制了这些测量方法的应用范围。本文提出了一种基于ＰＳＤ（ＰｏｓｉｔｉｏｎＳｅｎｓｉｎｇＤｅｔｅｃｔｏｒ）接收器的简易、快速的测量方法．
The measure ment of siral ghtness is an important item in error measure ment of shape and post non.A simple and fast measurement method based on PSD (Position Sensing Detector)is introduced in thisarticle
出处
《现代计量测试》
1995年第6期25-26,共2页
Modern Measurement and Test
关键词
直线度
形位误差
测量
PSD,error of shape and position.
