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氮化铝陶瓷基片材料的新进展
被引量：
1
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摘要
本文介绍了国外氮化铝陶瓷粉末的制备技术、典型烧结体的结构特征、热传导机理,着重阐述了氮化铝陶瓷的制备工艺及性能,同时也对该基片材料的应用现状及前景作了扼要的介绍。
作者
周世平
出处
《半导体情报》
1989年第5期20-27,共8页
Semiconductor Information
关键词
氮化铝
陶瓷粉末
基片材料
分类号
TN304.24 [电子电信—物理电子学]
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半导体情报
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