摘要
本文扼要地介绍了等离子体湮没离子注入的基本原理、特点、应用效果及发展趋向。
This paper summarises the principle, characters, application and trend of development of Plasma Immersion Ion Implantation.
出处
《金属热处理》
CAS
CSCD
北大核心
1995年第2期3-6,共4页
Heat Treatment of Metals
关键词
等离子体
离子注入
湮没
等离子喷涂
Plasma, Ion Beam Implantation, Plasma Immersion Ion Implantation
