摘要
本文采用数值模拟的方法分析了脉冲激光沉积(PLD)薄膜过程中激光烧蚀靶材表面温度场的分布,计算了激光功率密度对温度场的影响和在合适激光功率密度下靶材表面温度场的分布和烧蚀深度,分析结果可为提高PLD制膜的质量提供理论指导。
A numerical simulation method for the laser - ablated temperature field distribution is presented, during the process of laser deposited films, The dependence of temperature distribution on power density of laser, temperauture field distribution and ablated depth are analyzed.The numerical simulation results areconsidered to be consistent with practical cases.
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期34-35,共2页
Laser Journal
基金
国家自然基金(50331040
60171043)
陕西省自然基金(2001C21)
西北工业大学博士论文创新基金(200242)
关键词
PLD
激光烧蚀
数值模拟
温度场分布
PLD
laser ablation
numerical simulation
temperature field distribution
