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国外准分子激光步进机的发展概况及前景

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摘要本文概述了准分子激光步进机的发展概况，预测了在今后几代集成电路生产中的广阔前景。主要介绍了准分子激光窄谱带宽控制，中心波长调准的稳定性要求，光学系统设计与材料要求，以及对步进扫描曝光技术研究的迫切性。

作者葛劢

机构地区电子工业部第

出处《电子工业专用设备》 1995年第4期1-6,共6页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词透镜匹配光刻曝光量准分子激光器步进机

分类号 TN248.203 [电子电信—物理电子学]

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电子工业专用设备

1995年第4期

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