摘要
1 前言 纳米迭层膜是指由许多层厚度均在纳米量级的单层膜组成的薄膜,通常具有周期性调制结构,在不足1μm厚的膜层中,往往包含几十至几百个双层膜(一个双层膜为一个人工调制周期)。当膜层的厚度减小到一定程度时,其微观结构不同于体材。比如在单晶基底上可以获得外延生长的晶体结构,称为超晶格。这类材料由于在结构上具有纳米尺寸,从而表现出”尺寸量子效应”,具有独特的,机械、电、磁、光及化学性能。自70年代以来超晶格结构材料吸引了众多学科中的大批研究者。
出处
《电镀与精饰》
CAS
1995年第4期20-23,共4页
Plating & Finishing
