SiO2—Al2O3复合氧化物薄膜的溶胶—凝胶法制备研究被引量：2

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摘要以ＴＥＯＳ和水合硝酸铝为原料用溶胶－凝胶法制备复合溶胶，对制备条件进行了研究，并用上述溶胶在不锈钢基体上制备了ＳｉＯ２－Ａｌ２Ｏ３复合氧化物薄膜。结果表明，该薄膜在适当组成时具有良好的完整性。当硝酸铝含量过高时溶胶和凝胶的均匀性受到影响。

作者李澄黄明珠

出处《薄膜科学与技术》 1995年第1期51-55,共5页

关键词薄膜氧化物二氧化硅三氧化铝溶胶-凝胶法

分类号 TN304.210 [电子电信—物理电子学] TB43 [一般工业技术]

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