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控制门极参数提高晶闸管成品率的新方法

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摘要针对晶闸管生产中门极参数控制存在的问题，提出了改善门极参数的新方法即ｎ￣＋扩散调整法和表面挖槽法。实验结查表明，使用ｎ￣＋扩散调整法后，门极参数的合格率提高了３０％以上，表面挖槽法则将许多废品器件转变成了合格产品。这两种方法的应用，大大提高了成品率，有着显著的经济效益。

作者蒋晓波

机构地区浙江大学电工厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第2期16-18,共3页 Semiconductor Technology

关键词晶闸管涂源扩散门极触发电流参数

分类号 TN345.507 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1995年第2期

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