摘要
介绍了电流变技术在微型机械系统中的应用,特别介绍了三通口微型电流变阀的结构特点、制造工艺、基本特性,并通过实验模型阐述了这种阀的可行性。
This paper presents the applicationg study of electrorheological technologies to micromachines,especially the three-port micro ER valves,then the paper descripes the micro ER valves’structure characteristics 、basic properties and its fabrication by micromachining,finally,the validity of the micro ER valves is comfirmed by the eperiment.
出处
《机械》
2005年第7期12-15,共4页
Machinery
关键词
微型机械
微型阀
均相电流变材料
微加工
微致动器
<Keyword>micromachine
micro ER valve
homogeneous ER fluids
micromachining
microactuator
