摘要
从理论上研究了薄膜生长过程中原子在表面上的各种动力学表现,对原子扩散、原子团扩散、多层膜生长等过程的动力学行为进行了详细的分析,进一步探讨了薄膜生长的微观机制.
A theoretical study of various kinetic and dynamic behavior of surface atoms during film growth is presented. The dynamic behavior of atoms diffusion, the atom islands diffusion and multi -layer film growth are analysed in detail. The microscopic mechanisms of film growth is further discussed.
出处
《湖北民族学院学报（自然科学版）》
CAS
2005年第2期172-176,共5页
Journal of Hubei Minzu University(Natural Science Edition)
基金
湖北省教育厅重点资助项目(2003A001)
关键词
薄膜生长
表面动力学
原子扩散
thin film growth
surface kinetics
atomic diffusion
