摘要
本文评述竖直腔面发射半导体激光器的结构、晶体生产、器件制备、器件特性以及这种激光器的应用和发展前景。
The structure, crystal growth, fabrication and characteristics of the verticalcavity surface-emitting lasers (VCSEL) as well as their applications and prospects are reviewed in this paper.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第5期345-349,共5页
Chinese Journal of Lasers
关键词
半导体激光器
激光器
semiconductor lasers, surface-emitting laser (VCSEL)