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高纯氢气净化工艺设备的试制

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摘要随着科学技术的迅速发展，高纯氢作为半导体材料生产中的反应气获得了日益广泛的应用，对氢气的纯度要求也越来越高。为了提高半导体材料的质量和成品率，首先要提高半导体材料生产的基础材料——氢气质量。

作者吕鸣山

机构地区天津市半导体材料厂

出处《低温与特气》 CAS 1986年第1期10-12,共3页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词工艺设备氢气净化试制材料生产半导体材料科学技术基础材料反应气高纯氢成品率质量

分类号 TQ116.2 [化学工程—无机化工] TE986 [石油与天然气工程—石油机械设备]

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低温与特气

1986年第1期

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