表面声波气体传感器被引量：1

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摘要把表面声波(简称SAW)元件做成气体传感器已于1979年第一次提出。这种传感器的优点是体积小(<0．1cm^3)，灵敏度高(可检测到ppm数量级，甚至ppb数量级)，价格便宜。

作者夏建弘

机构地区清华大学

出处《低温与特气》 CAS 1988年第2期67-72,共6页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词气体传感器表面声波数量级体积小 PPM 灵敏度 ppb

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN65 [自动化与计算机技术—控制科学与工程]

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低温与特气

1988年第2期

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