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气相扩镓的化学系统及工艺特征

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摘要阐述了气相扩镓的化学系统和工艺特征，分析了扩镓表面波度与镓杂质蒸气压的关系．在确定的开管装置中，以氢气作为固态Ｇａ＿２Ｏ＿３源的反应和输运气体，凭借准确控制扩散条件，获得了良好的扩散均匀性、重复性和一致性．

作者刘秀喜申良风

机构地区山东师范大学半导体研究所

出处《山东师范大学学报（自然科学版）》 CAS 1994年第3期108-110,120,共4页 Journal of Shandong Normal University(Natural Science)

关键词气相镓扩散化学反应系统

分类号 TN305.4 [电子电信—物理电子学]

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山东师范大学学报（自然科学版）

1994年第3期

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