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100—150nm波段高反射率多层反射镜的最佳化

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摘要给出λ=100—150nm波段的MgF2/LiF,LiF/Al,MgF2/Al高反射率周期结构和连续结构多层反射镜的层厚在数值上的最佳化。表明了其反射率可达90—99.9％。

作者 Л.Л.Балакирова 李蓉芳

出处《光机电世界》 1994年第5期13-15,共3页

关键词反射率反射镜最佳化

分类号 TH741.4 [机械工程—光学工程]

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光机电世界

1994年第5期

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