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用超微粒乳胶光刻高密度圆光栅

Photoetch of High-density Radial Grating by Ultrafine Grain Emulsion
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摘要 对超微粒乳胶的基本性质、涂布工艺、光刻实验等进行了讨论。用超微粒乳胶光刻出直径为50mm、刻线数32768线对的小型高密度圆光栅。 The basic nature, emulsion making and coating technology, photoetch experiment etc. of ultrafine emulsion are discussed. The small-sized high-density radial grating has been devoloped, with carving a diameter of 50mm about 32768 line couples.
作者 喻洪麟
机构地区 重庆大学光机所
出处 《感光材料》 北大核心 1994年第3期17-19,共3页
基金 国家自然科学基金
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