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扫描电镜中象散的消除被引量：1

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摘要文章强调象散是影响图象清晰度的重要因素,消除象散是扫描电镜(SEM)工作中重要而较难掌握的一环;介绍了象散的产生、消象散器的工作原理及象散消除过程。

作者张良平付建华

机构地区湖南师大实验中心

出处《分析测试仪器通讯》 1994年第2期42-44,48,共4页

关键词扫描电镜象散消象散器显微镜

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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分析测试仪器通讯

1994年第2期

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