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在线式超高纯气体纯化器

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摘要在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气（气体中含有杂质浓度为１０－’、１０－‘’级）供给技术。超高...

作者木村正城韩美

出处《低温与特气》 CAS 1994年第3期48-50,共3页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词在线式超高纯气体纯化器

分类号 TB662 [一般工业技术—制冷工程] TQ051.8 [化学工程]

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低温与特气

1994年第3期

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