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第五代TFT-LCD制屏工艺的最新进展 被引量：5

The Newest Progress in the 5th Generation TFT-LCD Process
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摘要 主要综述了第五代TFT-LCD制屏的最新工艺流程和技术进展,并通过图表将整个工艺流程划分为10个工序进行了概要说明。 Describe the newest technology process and some recent progresses in the 5th Generation TFT-LCD production line.The whole TFT-LCD technology process is divided into ten working procedures,and illustrated simply by some schematics. 
作者 郑圣德
机构地区 上海华嘉光电技术有限公司
出处 《电子工艺技术》 2005年第1期52-54,共3页 Electronics Process Technology
关键词 液晶预滴(ODF) 阶梯爬坡传送清洗法 one drop fill ￡¨ODF￡(c) Cleaning method by 'climbing ladder '
分类号 TN105 [电子电信—物理电子学]
  • 相关文献

同被引文献22

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引证文献5

二级引证文献12

电子工艺技术
2005年 第1期

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