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05年台积电将大辐提升90纳米工艺产能

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摘要 台积电日前表示,该公司以90纳米Nexsys工艺技术为多家客户量产芯片,并将于2005年大幅增加产能,以满足客户对此先进工艺技术的需求。台积电据称是全球唯一同时提供全铜、低介电系数(Low—k technology)以及12英寸晶圆90纳米工艺技术的晶圆代工厂商。
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期74-75,共2页 Semiconductor Technology
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