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Seemann—Bohlin薄膜应力测试方法的修正 被引量:3

MODIFICATION OF SEEMANN-BOHLIN METHOD FOR STRESS MEASUREMENT
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摘要 本文讨论了Seemann-Bohlin(S-B)法应力测定中点阵参数的分散性在Kroner模型的基础上发展了用弹性常数各向异性进行修正的理论,并用它修正了实验数据,结果表明,这种归一化修正是可行的然而与Bragg-Brentano衍射几何应力测试法相比,S-B法由于使用了低角衍射峰。 The scattered distribution of the lattice parameters in the Seemann-Bohlinmethod for stress measurement was discussed. A linear relation can be achieved by modifica-tion with the theory deduced from Kroner model. However, the Seemann-Bohlin methodcannot achieve good accuracy in comparison with the Bragg-Brentano method, particularlyfor low stress value.
出处 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1993年第4期B187-B192,共6页 Acta Metallurgica Sinica
关键词 弹性各向异性 应力测定 S-B法 Seemann-Bohlin diffraction elastic anisotropy stress measurement
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