ZnO:Al(AZO)薄膜制备工艺参数的正交优化设计被引量：4

Orthogonal Optimum Design of the Technological Parameters for the Preparation of AZO Thin Films

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摘要采用正交设计法,对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究;确定了最佳工艺参数,为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。 An optimum study of technological parameters for the preparation of AZO thin films by sol-gel is carried out through orthogonal design. Optimum technological parameters are determined, which provide a practicable approach for industrial control of the preparation of AZO thin films.

作者葛春桥薛亦渝郭爱云胡小锋唐超

机构地区武汉理工大学材料科学与工程学院

出处《武汉理工大学学报（信息与管理工程版）》 CAS 2004年第5期210-212,共3页 Journal of Wuhan University of Technology：Information & Management Engineering

关键词 AZO薄膜溶胶-凝胶正交设计 AZO thin films sol-gel orthogonal design

分类号 O484.4 [理学—固体物理]

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