摘要
本文介绍了一台通用性低能离子束装置、主要性能、利用它开展的一些新的离子束应用及实验结果。
A versatile low energy ion facility and its main specifications are described. Some newion beam applications and experimental results are given.
关键词
同位素分离
离子注入
材料改性
isotope separation
ion implantation
material modification
^(57)Fe
C_(60)