微电子技术在石英微机械振动陀螺中的应用被引量：5

Application of Micro-electro Technology in Quartz Micromachined Gyroscopes

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摘要叙述了采用微电子技术加工石英微机械振动陀螺振子的原理和基本过程,介绍了陀螺振子加工的研究结果和石英微机械陀螺的最新研究进展。 The operation principle and processing technology of micro-electro technology on quartz micromachined gyro are described. The results of micro-electro technology and the latest development of quartz micromachined gyro are introduced.

作者林日乐张巧云谢佳维翁邦英王瑞赵建华

机构地区四川压电与声光技术研究所

出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2004年第4期43-46,共4页 Journal of Chinese Inertial Technology

关键词微电子技术石英微机械振动陀螺陀螺振子光刻工艺 gyro micromachined micro-electron quartz lithography

分类号 TN965 [电子电信—信号与信息处理]

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