摘要
我们必须为高密度导通孔的形成开发一些新颖的钻孔技术。这样一种新技术,即快速开关射频激励波导CO2激光器,可望凭借其高脉冲重复频率的性能提高导通孔钻孔能力。
New technologies must be developed for high-density via formation. One techlology,a Q-Switched RF-excited waveguide CO2 laser,promises to increase via drilling output with its high-repetition rate performance.
出处
《印制电路信息》
2003年第8期51-54,61,共5页
Printed Circuit Information
关键词
CO2激光
钻孔技术
导通孔
TEA激光器
印制电路板
Q-switched CO2 laser high-density interconnection stractures microvia electro-optic modulated resonator