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Ti(C,N)膜的离子镀及其抗氧化特性

Preparation of the Ti(C,N) Film by Ion Plating and Its Oxidation Resistance
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摘要 采用空心阴极离子镀的方法在 1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢表面沉积了Ti(C ,N)膜。通过测试膜层基本性能确定了反应气体流量C2 H2 和N2 的最佳比例为 0 1,即C2 H2 为 5mL/min ,N2 为 5 0mL/min。研究了膜层在 75 0℃~ 95 0℃时的抗氧化性能。SEM及XRD分析表明 ,膜层抗氧化性较好 ,尤其在高温状态对基体有很好的保护作用。 The multi-component Ti(C,N) film was deposited on austenite stainless steel 1Cr18Ni9Ti.By measuring the film's basic properties,the optimum flow ratio of reactive gases (C_2H_2 and N_2) was confirmed to be 0.1,with the flow C_2H_2 and N_2 is 5mL/min and 50mL/min respectively.The oxidation resistance of the film at the temperature range of 750℃~950℃ was studied by SEM and XRD analysis,the results show that the Ti(C,N) film has excellent oxidation resistance and can efficiently protect the substrate,especially at high temperature.
作者 沈星 万建国
出处 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2003年第12期15-18,共4页 Heat Treatment of Metals
基金 国家自然科学基金 (5 990 2 0 0 2 ) 航空基金(99G5 2 0 6 5 )
关键词 离子镀 抗氧化性 钛膜 多元镀膜 刀具 奥氏体不锈钢 高温保护 Ti(C N)膜 ion plating Ti(C,N) film oxidation test at high temperature oxidation-resistance
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