纳米多层膜中的交变应力场与超硬效应
被引量：2
Alternative stress field and superhardness effect in nano-multilayers
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期374-374,共1页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
基金
上海市专利技术二次开发项目 (No .0 3 72 5 0 5 2 )
同被引文献36
-
1刘海波,王明明,张镜斌,刘洲超,魏刚.多弧离子镀TiN、TiAlN膜层性能的研究[J].热加工工艺,2020,0(4):85-87. 被引量：6
-
2刘安强,袁建鹏,谢建刚.非平衡磁控溅射TiAlN薄膜的抗高温氧化行为研究[J].热喷涂技术,2021,13(2):62-68. 被引量：2
-
3徐益,钟富平,黄楠.纳米多层膜的界面微结构与超硬度[J].功能材料,2004,35(5):541-544. 被引量：5
-
4鼓志坚 齐龙浩 刘大鹏 李文治 苗赫濯.材料科学与工程学报,2003,21(1):110-110. 被引量：2
-
5Yang W M C, Tsakalakos T, Hilliard J E. J. Appl. Phys., 1977, 48(2): 876-879. 被引量：1
-
6Helmersson J, Todorova S, Barnett S A, et al. J. Appl. Phys., 1987, 62(2): 841-844. 被引量：1
-
7Shinn M,Hultman L, Barnett S A, et al. J. Mate. Res., 1992, 7(4): 901-911. 被引量：1
-
8Chu X, Barnett S A, Wong M S, et al. Surf. Coat. Technol., 1993, 57: 13-17. 被引量：1
-
9Alan F, Jankowski, et al. J. App. Phys., 1992, 71: 1782-1789. 被引量：1
-
10Cammarata R C, Sieradzki K. Physics Review Letters, 1989, 62: 2005-2008. 被引量：1
二级引证文献21
-
1王维,乔学亮,邱小林,陈建国,李海军.PEG对沉淀法制备纳米MgO形貌的影响[J].人工晶体学报,2007,36(6):1399-1402. 被引量：11
-
2王晖,亢原彬,李德军.AlN/CrN纳米多层膜的制备及性能的研究[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2008,28(2):27-30. 被引量：2
-
3赵时璐,李友,张钧,王闯,刘常升.刀具氮化物涂层的研究进展[J].金属热处理,2008,33(9):99-104. 被引量：17
-
4沟引宁,黄楠,孙鸿.钴合金表面多层碳薄膜的制备及其性能研究[J].真空科学与技术学报,2011,31(5):540-544. 被引量：1
-
5张平,杜军.Zr基氮化物/金属Cu纳米多层膜的强韧化研究[J].中国材料进展,2011,30(10):30-39. 被引量：2
-
6沟引宁,黄楠,孙鸿.调制比对C/C多层膜结构及性能的影响[J].真空科学与技术学报,2012,32(6):519-523. 被引量：2
-
7谭刚,赵广彬,廖凤娟,罗磊,安小建,何迪.中频磁控溅射TiAlN薄膜的制备与性能研究[J].真空,2014,51(2):56-59.
-
8张山山,王锦标,苏永要.纳米多层膜的研究现状[J].材料导报,2014,28(21):147-154. 被引量：8
-
9廖凤娟,赵广彬,谭刚,罗磊,张丽珍,何迪,李欣健.铝靶电流对TiAlN薄膜组织结构与性能的影响[J].西华大学学报（自然科学版）,2014,33(6):66-68. 被引量：3
-
10郎文昌,高斌,陈伟,吴百中.高性能工具镀涂层及其制备技术概况与进展[J].温州职业技术学院学报,2015,15(1):50-54. 被引量：1
-
1魏仑,李一睿,李戈扬.TiB_2/SiO_2纳米多层膜的微结构特征[J].电子显微学报,2005,24(4):273-273.
-
2李戈扬,韩增虎,田家万,张流强,顾明元.W/Mo纳米多层膜的界面结构与超硬效应[J].稀有金属材料与工程,2003,32(1):1-4. 被引量：4
-
3赵文济,岳建岭,乌晓燕,李戈扬.VN/SiO_2纳米多层膜的微结构特征与超硬效应[J].电子显微学报,2006,25(B08):91-92.
-
4李戈扬,许俊华,顾明元.纳米多层膜的微结构与超硬效应[J].上海交通大学学报,2001,35(3):457-461. 被引量：7
-
5程东,严志军,严立.Cu／Ni多层膜中交变应力场对可动位错的制约[J].金属学报,2006,42(2):118-122. 被引量：7
-
6胡晓萍,虞晓江,赖倩茜,李戈扬.Ti-Si-N纳米复合薄膜的超硬性[J].电子显微学报,2002,21(5):631-632. 被引量：5
-
7许俊华,顾明元,李戈扬,金燕苹.Si_3N_4/TiN纳米多层膜的超硬效应[J].上海交通大学学报,2000,34(3):347-350. 被引量：4
-
8岳建岭,董云杉,刘艳,李戈扬.反应溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长[J].电子显微学报,2006,25(B08):89-90.
-
9乌晓燕,孔明,赵文济,李戈扬.Si_3N_4在h-AlN上的晶体化与AlN/Si_3N_4纳米多层膜的超硬效应[J].物理学报,2009,58(4):2654-2659. 被引量：3
-
10焦虎.甲烷化系统压差异常升高的原因及应对措施[J].化工设计通讯,2011,37(1):42-44. 被引量：1
