Power ME MS研究现状及展望被引量：6

A Review and Prospect of Power MEMS

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摘要归纳了PowerMEMS研究的现状 ,分析了该领域尚待解决的关键问题。 The research status of micro power source technology was introduced,the key technology of power MEMS was analyzed,and the future development was discussed.

作者甘霖李伟杨灿军刘宜胜宋瑞银黎嘉杰

机构地区浙江大学流体传动及控制国家重点实验室

出处《机床与液压》北大核心 2004年第9期5-6,54,共3页 Machine Tool & Hydraulics

基金国家自然科学基金资助项目 (5 0 2 75 135 ) 国家 86 3计划资助项目 (2 0 0 2AA4 0 4 0 4 0 )

关键词 POWER MEMS MEMS 电源 Power MEMS MEMS Power source

分类号 TP271 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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机床与液压

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