基于STM的纳米测试技术及其在机械领域中的应用
被引量：1
Nano-measurement Technology Based on STM and its Application in the Mechanical Field
摘要
STM是一种具有纳米级分辨率的精密显微镜。文章简述了STM的基本原理和扫描模式 ,并总结了国内外将STM应用于机械领域的研究工作 ,最后对其发展进行了展望。
出处
《制造技术与机床》
CSCD
北大核心
2004年第8期40-42,共3页
Manufacturing Technology & Machine Tool
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