用于X射线光刻的同步辐射光源

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摘要本文简要介绍同步辐射光的原理、特征,同步辐射光装置的构成及其开发现状,重点阐述同步辐射光在ULSI工业生产中的应用及其存在的课题。

作者郑国强

机构地区机电部第

出处《电子工业专用设备》 1993年第1期9-18,共10页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 X射线光刻集成电路 ULSI X激光

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电子工业专用设备

1993年第1期

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