期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

Ⅲ—V族MO源研究新进展

下载PDF

导出

摘要用金属有机化合物化学汽相沉积的方法制备半导体材料,大大推动了电子工业的发展。该技术已在微波、光电和太阳能电池等器件制备中得到应用。从金属有机化学的角度,论述了采用加合物方法提纯MO源的原理、MO源纯度与半导体材料质量的关系,新MO源的开发及对MO源的展望。

作者阎圣刚周科衍

机构地区大连理工大学

出处《低温与特气》 CAS 1993年第3期10-15,共6页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词 Ⅲ-Ⅴ族半导体材料有机半导体

分类号 TN304.5 [电子电信—物理电子学]

引文网络
相关文献

1有机半导体发光二极管研究活跃[J].激光与红外,1995,25(4):31-31.
2雷仕湛.激光器研究新进展[J].现代科学仪器,1994(4):6-8.
3五室联用薄膜制备系统研制成功[J].中国科技信息,2003(19):29-29.
4赵梓森.通信技术的进展[J].电子技术（上海）,2008,0(7):5-12.
5张素梅,石家纬,郭树旭,刘明大,王伟.有机薄膜FET的研究进展[J].半导体光电,2003,24(2):84-86. 被引量：1
6孙祥桢.MO源的研究和开发[J].材料导报,2001,15(2):44-44. 被引量：2
7曾庆明.GaN HEMT微波器件研究新进展[J].半导体情报,2000,37(4):62-63. 被引量：1
8姬荣斌,唐利斌,张筱丹.有机半导体探测器材料的研究展望[J].红外技术,2006,28(1):2-6. 被引量：4
9邹世昌.我国电子材料研究新进展[J].上海金属,1996,18(5):7-12.
10制作有机半导体单晶薄膜新技术问世[J].光机电信息,2011,28(8):80-80.

低温与特气

1993年第3期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部