摘要
简要描述了一套针对激光直写系统，适用于衍射光学元件和精密码盘及其它图形的图形辅助编辑软件——ＭＡＳＫ软件，简单介绍了其功能和结构。
MASK—a pattern aid editing software which is used in the laser direct write system for making of the diffractive optical elements and precision encoding disks is described.Its functions and constitution are also presented.
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1997年第S1期32-36,共5页
Opto-Electronic Engineering
基金
微细加工光学技术国家重点实验室基金
关键词
激光直写
衍射光学元件
图形软件
计算机控制
激光光刻机
Laser direct write,Diffractive optical elements,Graphics software,Computer control,Laser photoetching machines.
