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摘要
TB43 98053316工业实用真空薄膜技术的进展=Recent progressof vacuum thin—film coating technology ap—plied in industry[刊,中]/刘炳坤(扬州工学院。江苏,扬州(225001)),曹仁福(上海真空泵厂。
出处
《中国光学》
EI
CAS
1998年第5期74-75,共2页
Chinese Optics
关键词
薄膜技术
真空泵
扬州
工学院
上海
进展
工业用
江苏
实用
发展情况
分类号
TB43 [一般工业技术]
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