摘要
O484.5 99053251多层光学薄膜周期厚度的双晶X射线掠入射研究=Study of periodic thickness of multilayer opticalthin films by double—crystal grazing incident X—ray[刊,中]/李学千,宋晓伟,曲轶,李梅,张兴德(长春光机学院高功率半导体激光国家重点实验室.吉林,长春(130022))//光学技术.—1998,(5).—36—38阐述了掠入射X射线测量薄膜厚度的条件,讨论和分析了掠入射X射线测量多层薄膜厚度的干涉原理和方法。利用双晶X射线衍射仪对多层光学薄膜的周期厚度进行了掠入射小角度测量,获得了令人满意的结果,测量值与设计值极好的吻合。图4参8(方舟)O484.5 99053252内部反射对测量高聚物薄膜电光系数的影响=Effectsof internal reflection on measurement of
出处
《中国光学》
EI
CAS
1999年第5期68-69,共2页
Chinese Optics
