微电子器件工业生产中的静电防护研究被引量：2

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摘要从ESD过程分析入手,对微电子器件工业生产中的静电来源以及泄放途径进行了剖析,介绍了4种静电放电模型,进而阐述了微电子器件工业生产中的静电防护技术以及静电防护体系,以确保静电防护的有效性。

作者刘军霞张新焕

机构地区南京国博电子有限公司中国电子科技集团公司第五十五研究所

出处《河北科技大学学报》 CAS 北大核心 2011年第S1期91-93,108,共4页 Journal of Hebei University of Science and Technology

关键词静电放电微电子器件可靠性

参考文献8

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河北科技大学学报

2011年第S1期

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