横向剪切干涉检测非球面波前数值模拟

Numerical Simulation of Lateral Shearing Interferometric Testing of Aspheric Wavefront

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摘要横向剪切干涉检测方法用于非球面加工过程中检测是经济且高效的方法。从数值模拟的角度,分析了基于像差最小原则的非球面度;模拟了非球面波前的横向剪切干涉图,并利用基于Zernike多项式拟合的最小二乘法进行了波前重建数值模拟,给出了数值模拟结果,为该方法的实际应用提供了理论依据。横向剪切干涉检测方法用于非球面加工过程中检测是经济且高效的方法。从数值模拟的角度,分析了基于像差最小原则的非球面度;模拟了非球面波前的横向剪切干涉图,并利用基于Zernike多项式拟合的最小二乘法进行了波前重建数值模拟,给出了数值模拟结果,为该方法的实际应用提供了理论依据。

作者王起维孙涛肖虹韩成顺董申

机构地区哈尔滨工业大学精密工程研究所中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

出处《航空精密制造技术》 2012年第4期12-14,共3页 Aviation Precision Manufacturing Technology

关键词非球面检测横向剪切干涉检测非球面度波前重建数值模拟 aspheric surface testing lateral shearing interferometric testing asphericity wavefront reconstruction numerical simulation

分类号 V26 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]

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