等离子体及其应用概述

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摘要目前,等离子体技术已在材料、微电子、化工、机械及环保等众多学科领域中得到较广泛地应用,并已初步形成一个崭新的工业-等离子体工业。本文就等离子体在薄膜材料、煤化学催化材料、环境净化材料这三方面进行具体的论述[1]。

作者王晶

机构地区内蒙古石油化学工业检验测试所

出处《内蒙古石油化工》 CAS 2012年第7期60-60,共1页 Inner Mongolia Petrochemical Industry

关键词等离子体

分类号 O53 [理学—等离子体物理]

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