摘要
该文简要地论述了掺杂对多晶硅薄膜淀积的影响,并就掺杂对多晶硅薄膜淀积率的影响作了一些解释。
It was briefly described the effect of dopant to the depositon of poly silicon fihn,also esplained the effect of dopant to the depositing rate of poly Si film.
出处
《电子与封装》
2002年第5期15-16,38,共3页
Electronics & Packaging
关键词
多晶硅
掺杂剂
淀积率
Poly Silicon
Dopant
Depositing Rate
