层板喷注器光刻工艺技术研究被引量：1

Study on Photolithographic Process of the Platelet Injector

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摘要本文论述了为研制液体火箭发动机关键件—层板喷注器而采用的光刻工艺技术。本工艺技术是一种交叉性的边缘学科,是微电子领域的光刻技术与精密微机械加工技术相结合的典范,属超精加工。

作者宁建华

机构地区中国航天科技集团公司第十一研究所

出处《火箭推进》 CAS 2001年第2期19-22,共4页 Journal of Rocket Propulsion

关键词液体火箭发动机层板喷注器光刻

参考文献3

1宁建华.光刻技术在液体火箭发动机的应用[J].火箭推进,1992,(4). 被引量：1
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火箭推进

2001年第2期

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