集成铁电学工艺的研究
STUDY ON INTEGRATED FERROELECTRICS TECHNOLOGY
摘要
介绍集成铁电学的内容及发展,研究快速退火工艺对钛酸铋铁电薄膜铁电性、剩余极化强度、介电常数、绝缘性和介电损耗的影响.
出处
《海军航空工程学院学报》
2002年第4期480-482,共3页
Journal of Naval Aeronautical and Astronautical University
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